SiC技术大跃进：长晶效率飙升40%，晶体厚度倍增！
你是否好奇，碳化硅究竟如何突破极限，长得更大、更厚、更快？近期，住友通过液相法成功制备6英寸碳化硅衬底，一举将长晶速度拉升5倍，震撼业界。
但惊喜不止于此！“三代半风向”最新洞察显示，一项创新技术横空出世，据称能使长晶耗时锐减40%，同时让晶体厚度暴增1倍。
甲基硅烷CVD法：
长晶速度提升40%，厚度增加100%
6月3日，武汉新硅科技潜江有限公司公开发榜，招募合作伙伴共同研发“以甲基硅烷为原料的CVD法沉积碳化硅晶体技术”，项目总投资高达1000万元。
新硅科技指出，当前Wolfspeed等国际巨头已能量产200mm（8吋）碳化硅晶片，GTAT等企业更在攻关250mm（10吋）乃至300mm（12吋）工艺。关键是其长晶时间极短（约60小时），晶体厚度轻松突破100mm。
反观国内，目前仅能制备6吋、厚度约30mm的碳化硅晶体，且长晶耗时漫长（超100小时），差距显著。
新硅科技强调，甲基硅烷技术可生长6英寸以上碳化硅晶片，厚度超60mm，生长时间控制在60小时内，且晶片表面平滑、无开裂，性能卓越。
低温CVD:
美国强势领跑，国内亟待突破
据《2021第三代半导体调研白皮书》，碳化硅长晶主流工艺包括物理气相传输法（PVT）、高温化学气相沉积法（HTCVD）及液相外延法（LPE）。
目前PVT法虽占主导，但新硅科技认为，因硅粉与碳粉纯度所限，PVT法难以制备高纯碳化硅晶片。
传统HTCVD则以三氯甲基硅烷等为原料，腐蚀性强，设备要求极高。
HTCVD原料易提纯至6N以上，能获得更高纯度晶片，故Norstel（已被意法半导体收购）、日本电装等企业持续投入研发。
新硅科技介绍，新一代CVD生长法采用甲基硅烷为原料，优势突出——不含氯原子，无腐蚀性气体，且长晶温度更低。
该技术还能制备更大尺寸（150mm及以上）、更厚（60mm以上）的碳化硅晶体。美国等发达国家已在此领域取得重大进展。
实现该技术的关键在于两处——纯度达4N以上的甲基硅烷原料，以及匹配的CVD炉与配套工艺。
由于甲基硅烷材料至关重要，国外实施对华禁运，技术严密封锁。这导致国内甲基硅烷CVD工艺研发寥寥，近乎无工业化生产，专用设备与工艺亦属空白。
据悉，新硅科技成立于2013年6月6日，已是国内高纯四氯化硅最大供应商。该公司表示，现已掌握甲基硅烷生产技术，可提纯至电子级（4N或更高）。
但他们在CVD气相沉积领域设备不足、经验有限。为此，新硅科技发榜求贤，急寻国内CVD技术顶尖团队携手攻坚，共推国产技术飞跃。你是否也想见证这场技术革命？立即关注，探索无限可能！
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